俄乌冲突、氖气断供，中国半导体会“窒息”？

作者|清柠 来源|科工力量(ID：guanchacaijing)

前言

“现在两三天一个价格，价格波动很大。”

面对俄乌冲突，凯美特气淡定的选择涨价。根据公司官方说法，公司的特种气体主要销往国外，国外企业的报价也高于国内。涨价是最正常的反应。

作为缓冲气体，氖气可以看做是光刻机的“刀片”：稀有气体经过混合后，在高压条件下产生电子跃迁，释放出光子，光子在通过介质转化成激光。如同刀片在磨刀石中摩擦，变得格外锋利。从而“刮掉”光刻胶。

不巧的是，乌克兰掌握着全球70%的氖气供应。俄乌冲突，很可能意味着没有氖气。

没有了氖气，就没有了刀片。没有了刀片，光刻机就要罢工。光刻机罢工后，全球的半导体供应都会受到干扰。

凯美特气的反应没有错，现在最慌的，可能是半导体企业。

01

乌克兰的氖气，靠捡漏

乌克兰在特种气体行业的发展史，可以用八个字概括：大哥吃肉，小弟喝汤。

工业气体根据来源不同，可以简单的分为空分气体，特种气体和合成气体。俄乌局势引发讨论的氖气，就属于工业气体中的特种气体。不论是分离空气成分，还是化学合成气体。这两者都离不开工业生产的支持，尤其是能源化工产业和钢铁产业。

乌克兰不可能凭空冒出这么多原油和钢铁，其气体产业因此前苏联的工业分工体系：按照当时的产业分布，乌克兰拥有着以电子、化学、造船为代表的高技术工业，消化掉苏联内部的重工业产能。

不论是钢铁还是油气生产，都会产生以氧气和合成氨为代表的工业气体。粗加工的气体产品，也会经过乌克兰当地的“深加工”，生产出合成气体和稀有气体。前苏联生产的IN-16辉光管，内部就需要填充大量的氖气，这些辉光管的生产地，恰恰是乌克兰的Gazotron工厂。

（代表着怀古风格的辉光管，实际是空分产业的结晶）

除了氖气之外，乌克兰还提供了全球30%的氙气和40%的氪气。此前社交媒体流行的“立陶宛激光设备”，也需要这些稀有气体才能正常运行。乌克兰在气体行业中的关键身份，也就可见一斑。

乌克兰统领全球的特种气体产业，不过是苏联工业大餐的一道配菜而已。

苏联解体之后，虽然东欧局势风云变幻。但是俄乌两国的产业分工体系，却并没有被彻底推翻。因此乌克兰特种气体的生产材料来源，依旧是俄罗斯的粗分气体产品。就算不考虑现在的“特别军事行动”，全球半导体产业的气体供应，也一直悬着俄乌冲突这把刀。

2015年克里米亚事件期间，中国氖气市场价一下从年初750元/立方米，涨到7月中的25000元/立方米。百川盈孚数据显示，国内氖气（含量99.99%）价格已从去年10月份的400元/立方米上涨到目前超过1600元/立方米。

面对可能到来的供应链冲击，半导体巨头纷纷选择避险。美光CEO桑杰·梅赫罗特拉就在2月23日的采访中，颇为自信地表示：“美光有一小部分稀有气体来自乌克兰，但我们拥有多种供应来源，并拥有大量的库存。”

全球光刻机巨头阿斯麦（ASML）也同时宣布，公司已经开始寻求替代乌克兰的供应商。更是在氖气供应方面，尝试与乌克兰撇清关系：“ASML使用的氖气中只有不到20%来自于乌克兰。”

半年之内，半导体不缺乌克兰这口气。

02

国内行业发展：40年的铺垫，2年的爆发

比起乌克兰气体工业的悠久传统，我国的特种气体发展史要短暂得多。

1983年，国务院成立电子计算机和大规模集成电路领导小组，并在5月召开全国计算机和大规模集成电路会议，制定LSI发展规划。随着北京氧气厂、光明化工研究设计院等院所机构的超纯气体研制项目逐步成型，我国电子气体成为了电子行业的重点攻关项目。

与此同时，我国也在迅速开展气体标准化的相关研究。1987年，中方研究人员翻译了全套“国际半导体设备与材料协会（SEMI）”标准，并在1992年以“SEMI中国标准化委员会”名义加入SEMI组织。有了这套标准，中国的半导体工业生产才能对接国际体系。

有了研发和体系的铺垫，国内出现了广东华特、中昊光明、中船集团718研究所、大连科利德和金宏气体为代表的电子特种气体企业。在低端氨气，笑气等领域也实现了稳定投产。以氖气为代表的稀有气体产品，也随着我国钢铁产业的深化整合实现了自主化。

卓创资讯工业气体分析师张卫就指出，“稀有气体方面，国内头部厂商包括武钢、首钢、宝钢、邯钢、衢州杭氧、攀钢梅塞尔等。”

“气体圈子”总经理任路也表示，“氖气在半导体领域的用量并不是太大，而中国就拥有包括氖气在内的多种稀有气体充足的生产能力。”

然而由于我国半导体行业规模有限，大量求稳求快的厂家，更愿意选择产品质量稳定的国外产商。以美国空气化工，德国林德，大阳日酸和液化空气为代表的国外厂商，最终拿下了国内电子特气领域超过85%的市场。

在2020年，这一局面再次被国家规划打破，由于《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》出台，电子特气成为国家产业投资的重点目标。高纯硅烷、高纯氨、砷烷实现了产业化生产，国产特种气体有了产业化的模样。

仅派瑞特气一家，就在去年9月获得了国家集成电路产业投资基金，国企混改基金，国家军民融合产业投资基金等机构超过5.2亿元的战略融资。华特气体和凯美特气也在借助“通过ASML认证”等方式，逐步进入半导体行业供应链中。

2021年，中国稀有气体出口市场中，氖气出口量为6.5万立方米，其中有60%出口到了韩国。氪气出口量为2.5万立方米，37%出口至日本；氙气出口量为900立方米，30%出口至韩国。

已经出海的国产电子特气，也无需考虑东欧引发的断“氖”之忧。

03

电子特气未来发展：战场在市场

我国电子特气的战斗，不在供应，在市场。

由于我国的电子气体行业长期依赖国外巨头，国内的电子气体行业争取客户，面临着以标准和技术的无形壁垒。在半导体行业，这一现象体现为漫长的审核流程。

一家OLED面板厂商生产负责人表示，如果气体想要进厂需要先审厂，再看产品认证，并且要按照面板厂商合同需求调动产能。这个流程走下来，一般需要三年左右。除非公司出现重大变动，一般不更换供应商。

（图为OLED的生产车间）

这位负责人还表示，面板产品往往是多规格生产，他们希望气体供应商能够灵活制备产品。整体而言，他们对其他的需求，是常年不断的细碎订单，需要气体提供方能够随叫随到。

任路在调研期间也发现了这一点，　“我们曾在去年采访华东某外资半导体大厂（8寸线），该公司使用的63种电子特气中，仅有4种由中国国内企业分装或者生产。”

针对这种问题，国内企业的思路是依托产品，逐步攻克。2019年登陆科创板的华特气体，就成为了国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、光刻气（Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气）等产品进口制约的气体公司，并率先实现了近20个产品的进口替代。

在规模化的产品覆盖下，华特气体已经覆盖了国内80%的8寸以上集成电路制造厂商，拿下了60%的国内光刻气份额。虽然华特尚未打入阿斯麦的供应链，但是公司已经进入英特尔、美光、德州仪器等半导体巨头的供应链体系。为华润微电子、京东方等客户直接供气，也为国内半导体产业解决了部分气体来源问题。

凯美特气作为另一家争取“阿斯麦认证”的国内企业，则在2020年7月投产了岳阳电子特种稀有气体项目，根据凯美特气说法，公司目前已产出合格氯化氢基准分子激光混配气、氟基准分子激光混配气和动态激光混配气。

2021年，公司签订电子特气合同金额达 1938 万元。目前公司已经通过激光器巨头相干公司认证，正在争取阿斯麦、大阳日酸、亘福的认证，从而进军半导体行业。

获得过亿融资的宏芯气体，创始人白久曾任职于林德气体的电子业务，参加过中芯国际、联芯、长江存储等国内一流FAB厂和三星、京东方等头部面板厂商的大宗气站项目。公司核心团队来自林德、空气化工、液化空气等国际气体巨头的电子气体部门，并已经取得上海新微和浙江创芯两个气站项目。

俄乌冲突引发的“断气风波”，为还在急行军的中国电子特气点亮了照明弹，但是中国企业的“国产替代”会战，却远远没有结束。

编者按：本文转载自微信公众号：科工力量(ID：guanchacaijing)，作者：清柠