上海市高端装备制造业“十二五”发展规划

(三)智能制造装备

智能仪表与控制系统方面，重点发展高端仪器仪表、面向应用的自动化控制系统、自动化基础产品，主要领域达到国内领先、国际先进水平，成为国内高端仪器仪表及控制系统研发、制造、检测、认证、服务的重要基地。

工业机器人和服务机器人方面，重点发展搬运码垛、拾拣、包装、焊接、装配、喷涂等工业机器人及机器人系统，应用于特殊环境下的安防、排爆、环保机器人，应用于民生的助老助残机器人、仿人型机械臂，以及电机、驱动器、控制器、传感器、网络控制系统等机器人核心部件。

高档数控机床与基础制造装备方面，做大产业规模，做强特色，保持高档数控磨床优势，聚焦汽车、航空航天、核电、船舶和钢铁等行业，发展专机类、重型数控机床类、加工中心类、复合机床等高端大型机床，以及基于先进数控加工设备的自动化生产线、数字化工厂，打造国内领先的高端机床研发制造基地。

微电子及光电子装备方面，继续积极争取国家科技重大专项支持，促进产业链上下游的配套布局和示范应用，形成高端微电子及光电子装备重点设备研制和产业化基地。支持高端光刻机、刻蚀机、镀铜、光学检测、清洗、MOCVD等设备研制和产业化，技术达到国际先进、国内领先。

关键基础零部件方面，重点发展精密传动装置、伺服控制机构、液气密元件及系统、关键泵、机、阀、模具等;大型铸锻件重点围绕核电、船用曲轴、大型火电及核电常规岛、冶金轧钢设备、大飞机等大型铸锻件开展关键技术攻关，形成一批标准和完整的工艺技术。

专栏3：智能制造装备

发展目标

到2015年，智能仪表与控制系统成为国内高端仪器仪表及控制系统研发、制造、检测、认证、服务的重要基地，实现产值300亿元。光电子与微电子装备技术达到国际先进、国内领先，实现产值50亿元。机器人实现产值200亿元。高档数控机床与基础制造装备实现总产值100亿元，成为国内五轴联动数控机床、高档数控磨床等领域重要的技术创新和高端制造基地;关键基础零部件件实现重要突破，产值150亿元。

发展重点

1.智能仪表与控制系统

(1)新型传感器及其系统：新原理、新材料、微型化、智能化、低功耗、集成化、无线等特点的传感器。

(2)智能控制系统：现场总线分散性控制系统FCS、高端PLC、装备嵌入式控制系统、功能安全监控系统等。

(3)智能仪表：智能温度、压力、流量等在线仪表、智能电动执行机构、智能阀门定位器、高可靠执行器等。

(4)精密仪器：在线质谱/激光气体/紫外光谱/紫外荧光/近红外光谱分析系统、高速自动化超声无损探伤监测仪、特种环境蠕变疲劳检测设备等。

2.机器人

(1)高性能、智能化工业机器人：弧焊和点焊机器人系统、搬运码垛机器人、拾拣机器人等。

(2)应用于特殊环境下的机器人：排爆机器人、助老助残机器人、仿人型机械臂、家居监控机器人等。

(3)机器人核心部件：电机总成、驱动器、控制器、传感器、机器人智能系统和网络控制系统。

3.高档数控机床与基础制造装备

(1)五轴联动数控机床及数控加工中心，专机类、重型类、加工中心类、复合类等高端大型数控机床。

(2)大型重载搅拌摩擦焊设备、超大型激光切割加工设备、航天航空专用数控加工装备、智能化热处理成套设备等。

(3)中高档数控系统、数字化伺服驱动系统、主轴、丝杠、导轨、刀具等关键部件或系统。

4.微电子及光电子装备

(1)集成电路制造关键工艺设备：先进工艺的等离子体介质刻蚀设备、封装投影光刻机、刻蚀设备、清洗设备、集成电路工艺激光退火设备。

(2)LED制造关键工艺设备：应用于LED芯片制备的MOCVD设备，高亮度LED照明工艺投影光刻机。

(3)AMOLED新型显示关键工艺设备：应用于下一代TFT-OLED显示屏制造的投影光刻机，全自动激光键合封装设备。

(4)集成电路关键装备的关键技术和部件：高精度温控器、5-10MHz大频差高稳定度双频氦氖激光器与高精度激光干涉仪，精密减振器、超精密运动和传输系统、磁浮电机。

(5)高性能激光器件：用于制备多功能微纳集成器件的激光三维微纳加工系统、各类激光光源等。

5、关键基础零部件

(1)精密传动装置：高速精密重载轴承，高速精密齿轮传动装置，高速精密链传动装置，高精度高可靠性制动装置，谐波减速器，大型电液动力换档变速器，高速、高刚度、大功率电主轴，直线电机、丝杠、导轨。

(2)伺服控制机构：高性能变频调速装置、数位伺服控制系统、网络分布式伺服系统等产品。

(3)液气密元件及系统：高压大流量液压元件和液压系统、高转速大功率液力偶合器调速装置、智能润滑系统、智能化阀岛、智能定位气动执行系统、高性能密封装置。

(4)关键泵、机、阀、模具：为高端装备提供关键配套且国内不能自主生产的高端阀门、泵、压缩机、精密高档模具等。

(5)核电、火电、冶金、船舶用大型铸锻件，飞机用高强度、耐磨、耐蚀铝合金、钛合金、镍基合金锻件。

重大技术创新平台

推进工业过程自动化国家工程研究中心、上海集成电路研发中心、上海集成电路测试平台、精密磨削技术重点实验室和工具涂层技术重点实验室建设。